Tá raon leathan iarratas ag dearadh optúil sa réimse leathsheoltóra. I meaisín fótailiteagrafaíocht, tá an córas optúil freagrach as an léas solais a astaíonn an fhoinse solais a dhíriú agus é a theilgean ar an sliseog sileacain chun an patrún ciorcad a nochtadh. Dá bhrí sin, is bealach tábhachtach é dearadh agus leas iomlán a bhaint as comhpháirteanna optúla sa chóras photolithography chun feabhas a chur ar fheidhmíocht an mheaisín photolithography. Seo a leanas cuid de na comhpháirteanna optúla a úsáidtear i meaisíní fótailiteagrafaíocht:
Cuspóir teilgean
01 Is príomh-chomhpháirt optúil é an cuspóir teilgean i meaisín liteagrafaíocht, comhdhéanta de ghnáth de shraith lionsaí lena n-áirítear lionsaí dronnach, lionsaí cuasacha, agus priosmaí.
02 Is í an fheidhm atá aige ná patrún an chiorcaid a chrapadh ar an masc agus é a dhíriú ar an sliseog atá brataithe le fótairíoch.
03 Tá tionchar cinntitheach ag cruinneas agus feidhmíocht an chuspóra teilgean ar chaighdeán réitigh agus íomháithe an mheaisín liteagrafaíocht
Scáthán
01 Scátháina úsáidtear chun treo an tsolais a athrú agus é a threorú chuig an suíomh ceart.
02 I meaisíní liteagrafaíocht EUV, tá tábhacht ar leith ag baint le scátháin toisc go n-ionsúnn ábhair solas EUV go héasca, agus mar sin ní mór scátháin a bhfuil frithchaiteacht ard acu a úsáid.
03 Tá tionchar mór freisin ar chruinneas dromchla agus ar chobhsaíocht an fhrithchaiteora ar fheidhmíocht an mheaisín liteagrafaíocht.
Scagairí
01 Úsáidtear scagairí chun tonnfhaid solais nach dteastaíonn a bhaint, feabhas a chur ar chruinneas agus ar cháilíocht an phróisis photolithography.
02 Tríd an scagaire cuí a roghnú, is féidir a chinntiú nach dtéann ach solas tonnfhad ar leith isteach sa mheaisín liteagrafaíocht, rud a fheabhsóidh cruinneas agus cobhsaíocht an phróisis liteagrafaíocht.
Priosmaí agus comhpháirteanna eile
Ina theannta sin, féadfaidh an meaisín liteagrafaíocht comhpháirteanna optúla cúnta eile, mar shampla priosmaí, polaraitheoirí, etc., a úsáid freisin chun freastal ar riachtanais liteagrafaíochta ar leith. Caithfidh roghnú, dearadh agus monarú na gcomhpháirteanna optúla seo na caighdeáin agus na ceanglais theicniúla ábhartha a leanúint go docht chun cruinneas ard agus éifeachtacht an mheaisín liteagrafaíocht a chinntiú.
Go hachomair, tá sé mar aidhm ag cur i bhfeidhm comhpháirteanna optúla i réimse na meaisíní liteagrafaíocht feabhas a chur ar fheidhmíocht agus ar éifeachtúlacht táirgthe na meaisíní liteagrafaíocht, rud a thacaíonn le forbairt an tionscail déantúsaíochta micrea-leictreonaic. Le forbairt leanúnach na teicneolaíochta liteagrafaíocht, soláthróidh leas iomlán a bhaint agus nuálaíocht na gcomhpháirteanna optúla acmhainneacht níos mó freisin chun sliseanna den chéad ghlúin eile a mhonarú.
Le haghaidh tuilleadh léargais agus comhairle shaineolach, tabhair cuairt ar ár suíomh Gréasáin aghttps://www.jiujonoptics.com/chun níos mó a fhoghlaim faoi ár gcuid táirgí agus réitigh.
Am postála: Jan-02-2025
